除掉最先进的EUV，这些光刻机也不容忽视

发布时间：2021-10-30 13:51:27 所属栏目：动态来源：互联网

导读：日前，市场分析机构Yole发布统计数据，2020年先进封装用光刻设备市场达到10亿美元，其中佳能公司成为这类设备的最大供应商，市场份额为34%;其次是ASML，市场份额21%。Yole预测，从2020年到2026年，封装用光刻设备市场将以平均每年9%的速度增长至17亿美元。

日前，市场分析机构Yole发布统计数据，2020年先进封装用光刻设备市场达到10亿美元，其中佳能公司成为这类设备的最大供应商，市场份额为34%;其次是ASML，市场份额21%。Yole预测，从2020年到2026年，封装用光刻设备市场将以平均每年9%的速度增长至17亿美元。

　　光刻机配套材料与设备也很重要

　　发展光刻产业，除光刻机外，相关的配套材料与设备也很重要。根据莫大康的介绍，相关产业还包括配套材料如光刻胶、光掩膜，配套组件和配套设备如光源、双工件台等。

　　光刻胶是最重要的配套材料之一，受光刻产业高精密需要的影响，其对分辨率、对比度、敏感度，此外还有粘滞性黏度、粘附性等要求极高。目前全球光刻胶主要企业有日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、住友化学、信越化学、美国罗门哈斯等，市场集中度非常高，前五大厂商所占市场份额超过85%。

　　光刻机的核心组件包括光源、双工件台、镜头等子系统。光源经过了多轮变革，光刻设备所用的光源，从最初的g-line，i-line发展到了KrF、ArF，如今光源又在向EUV方向发展。中银国际证券报告显示，Gigaphoton是在全球范围少数能够为光刻机提供激光光源的厂商之一。国内企业也积极开发相关的产品。

（编辑：站长网）

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